【導(dǎo)讀】示波器因?yàn)橛刑筋^的存在而擴(kuò)展了示波器的應(yīng)用范圍，使得示波器可以在線測試和分析被測電子電路，如下圖：
圖1 示波器探頭的作用
探頭的選擇和使用需要考慮如下兩個(gè)方面：
其一：因?yàn)樘筋^有負(fù)載效應(yīng)，探頭會直接影響被測信號和被測電路;
其二：探頭是整個(gè)示波器測量系統(tǒng)的一部分，會直接影響儀器的信號保真度和測試結(jié)果
一、探頭的負(fù)載效應(yīng)
當(dāng)探頭探測到被測電路后，探頭成為了被測電路的一部分。探頭的負(fù)載效應(yīng)包括下面3部分：
1. 阻性負(fù)載效應(yīng);
2. 容性負(fù)載效應(yīng);
3. 感性負(fù)載效應(yīng)。
圖2 探頭的負(fù)載效應(yīng)
阻性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個(gè)電阻，對被測信號有分壓的作用，影響被測信號的幅度和直流偏置。有時(shí)，加上探頭時(shí)，有故障的電路可能變得正常了。一般推薦探頭的電阻R>10倍被測源電阻，以維持小于10%的幅度誤差。
圖3 探頭的阻性負(fù)載
容性負(fù)載相當(dāng)于在被測電路上并聯(lián)了一個(gè)電容，對被測信號有濾波的作用，影響被測信號的上升下降時(shí)間，影響傳輸延遲，影響傳輸互連通道的帶寬。有時(shí)，加上探頭時(shí)，有故障的電路變得正常了，這個(gè)電容效應(yīng)起到了關(guān)鍵的作用。一般推薦使用電容負(fù)載盡量小的探頭，以減小對被測信號邊沿的影響。
圖4 探頭的容性負(fù)載
感性負(fù)載來源于探頭地線的電感效應(yīng)，這地線電感會與容性負(fù)載和阻性負(fù)載形成諧振，從而使顯示的信號上出現(xiàn)振鈴。如果顯示的信號上出現(xiàn)明顯的振鈴，需要檢查確認(rèn)是被測信號的真實(shí)特征還是由于接地線引起的振鈴，檢查確認(rèn)的方法是使用盡量短的接地線。一般推薦使用盡量短的地線，一般地線電感=1nH/mm。
圖5 探頭的感性負(fù)載
二、探頭的類型
示波器探頭大的方面可以分為：無源探頭和有源探頭兩大類。無源有源顧名思義就是需不需要給探頭供電。
無源探頭細(xì)分如下：
1. 低阻電阻分壓探頭;
2. 帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭(最常用的無源探頭);
3. 高壓探頭
有源探頭細(xì)分如下：
1. 單端有源探頭;
2. 差分探頭;
3. 電流探頭
最常用的高阻無源探頭和有源探頭簡單對比如下：
表1 有源探頭和無源探頭對比
低阻電阻分壓探頭具備較低的電容負(fù)載(<1pf)，較高的帶寬(>1.5GHz)，較低的價(jià)格，但是電阻負(fù)載非常大，一般只有500ohm或1Kohm，所以只適合測試低源阻抗的電路，或只關(guān)注時(shí)間參數(shù)測試的電路。
圖6 低輸入電阻探頭結(jié)構(gòu)
帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭是最常用的無源探頭，一般示波器標(biāo)配的探頭都是此類探頭。帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭具備較高的輸入電阻(一般1Mohm以上)，可調(diào)的補(bǔ)償電容，以匹配示波器的輸入，具備較高的動態(tài)范圍，可以測試較大幅度的信號(幾十幅以上)，價(jià)格也較低。但是不知之處是輸入電容過大(一般10pf以上)，帶寬較低(一般500MHz以內(nèi))。
圖7 常用的無源探頭結(jié)構(gòu)
帶補(bǔ)償?shù)母咦锜o源探頭有一個(gè)補(bǔ)償電容，當(dāng)接上示波器時(shí)，一般需要調(diào)整電容值(需要使用探頭自帶的小螺絲刀來調(diào)整，調(diào)整時(shí)把探頭連接到示波器補(bǔ)償輸出測試位置)，以與示波器輸入電容匹配，以消除低頻或高頻增益。下圖的左邊是存在高頻或低頻增益，調(diào)整后的補(bǔ)償信號顯示波形如下圖的右邊所示。
圖8 無源探頭的補(bǔ)償
高壓探頭是帶補(bǔ)償?shù)臒o源探頭的基礎(chǔ)上，增大輸入電阻，使得衰減加大(如：100:1或1000:1等)。因?yàn)樾枰褂媚透邏旱脑骷愿邏禾筋^一般物理尺寸較大。
圖9 高壓探頭的結(jié)構(gòu)
三、有源探頭
我們先來觀察一下用600MHz無源探頭和1.5GHz有源探頭測試1ns上升時(shí)間階躍信號的影響。使用脈沖發(fā)生器產(chǎn)生一個(gè)1ns的階躍信號，通過測試夾具后，使用SMA電纜直接連接到一個(gè)1.5GHz帶寬的示波器上，這樣示波器上會顯示一個(gè)波形(如下圖中的蘭色信號)，把這個(gè)波形存為參考波形。然后使用探頭點(diǎn)測測試夾具去探測被測信號，通過SMA直連的波形因?yàn)槭芴筋^負(fù)載的影響而變成黃色的波形，探頭通道顯示的是綠色的波形。然后分別測試上升時(shí)間，可以看出無源探頭和有源探頭對高速信號的影響。
圖10 無源探頭和有源探頭對被測信號和測量結(jié)果的影響
具體測試結(jié)果如下：
使用1165A 600MHz無源探頭，使用鱷魚嘴接地線：受探頭負(fù)載的影響，上升時(shí)間變?yōu)椋?.9ns;探頭通道顯示的波形存在振鈴，上升時(shí)間為：1.85ns;
使用1156A 1.5GHz有源探頭，使用5cm接地線：受探頭負(fù)載的影響較小，上升時(shí)間仍為：1ns;探頭通道顯示的波形與原始信號一致，上升時(shí)間仍為：1ns。
單端有源探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用放大器實(shí)現(xiàn)阻抗變換的目的。單端有源探頭的輸入阻抗較高(一般達(dá)100Kohm以上)，而輸入電容較小(一般小于1pf)，通過探頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用50ohm輸入阻抗。有源探頭帶寬寬(現(xiàn)在可達(dá)30GHz)，而負(fù)載小，但是價(jià)格相對較高(一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價(jià)格的10%左右)，動態(tài)范圍較小(這個(gè)需要注意，因?yàn)槌^探頭動態(tài)范圍的信號，不能正確測試。一般動態(tài)范圍5V左右)，比較脆弱，使用需小心。
圖11 有源探頭結(jié)構(gòu)
差分探頭結(jié)構(gòu)圖如下，使用差分放大器實(shí)現(xiàn)阻抗變換的目的。差分探頭的輸入阻抗較高(一般達(dá)50Kohm以上)，而輸入電容較小(一般小于1pf)，通過差分探頭放大器后連接到示波器，示波器必須使用50ohm 輸入阻抗。差分探頭帶寬非常寬(現(xiàn)在可達(dá)30GHz)，負(fù)載非常小，具有較高共模抑制比，但是價(jià)格相對較高(一般每根探頭達(dá)到同樣帶寬示波器價(jià)格的10%左右)，動態(tài)范圍也較小(這個(gè)需要注意，因?yàn)槌^探頭動態(tài)范圍的信號，不能正確測試。一般動態(tài)范圍3V左右)，比較脆弱，使用需小心。
差分探頭適合測試高速差分信號(測試時(shí)不用接地)，適合放大器測試，電源測試，適合虛地測試等應(yīng)用。
圖12 差分探頭結(jié)構(gòu)
電流探頭也是有源探頭，利用霍爾傳感器和感應(yīng)線圈實(shí)現(xiàn)直流和交流電流的測量。電流探頭把電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號，示波器采集電壓信號，再顯示成電流信號。電流探頭可以測試幾十毫安到幾百安培的電流，使用時(shí)需要引出電流線(電流探頭是把導(dǎo)線夾在中間進(jìn)行測試的，不會影響被測電路)。
電流探頭在測試直流和低頻交流時(shí)的工作原理：
當(dāng)電流鉗閉合，把一通有電流的導(dǎo)體圍在中心時(shí)，響應(yīng)地會出現(xiàn)一個(gè)磁場。這些磁場使霍爾傳感器內(nèi)的電子發(fā)生偏轉(zhuǎn)，在霍爾傳感器的輸出產(chǎn)生一個(gè)電動勢。電流探頭根據(jù)這個(gè)電動勢產(chǎn)生一個(gè)反向(補(bǔ)償)電流送至電流探頭的線圈，使電流鉗中的磁場為零，以防止飽和。電流探頭根據(jù)反向電流測得實(shí)際的電流值。用這個(gè)方法，能夠非常線性的測量大電流，包括交直流混合的電流。
圖13 電流探頭測試直流和低頻時(shí)的工作原理
電流探頭在測試高頻時(shí)的工作原理：
隨著被測電流頻率的增加，霍爾效應(yīng)逐漸減弱，當(dāng)測量一個(gè)不含直流成分的高頻交流電流時(shí)，大部分是通過磁場的強(qiáng)弱直接感應(yīng)到電流探頭的線圈。此時(shí)，探頭就像一個(gè)電流變壓器，電流探頭直接測量的是感應(yīng)電流，而不是補(bǔ)償電流，功放的輸出為線圈提供一個(gè)低阻抗的接地回路。
圖14 電流探頭測試高頻時(shí)的工作原理
電流探頭在交叉區(qū)域時(shí)的工作原理：
當(dāng)電流探頭工作在20KHz的高低頻交叉區(qū)域時(shí)，部分測量是通過霍爾傳感器實(shí)現(xiàn)的，另一部分是通過線圈實(shí)現(xiàn)的。
圖15 電流探頭交叉區(qū)域的工作原理
四、有源探頭附件
現(xiàn)代的高帶寬有源探頭都采用分離式的設(shè)計(jì)方法，即：探頭放大器與探頭附件部分分開。這樣設(shè)計(jì)的好處是：
1、支持更多的探頭附件，使得探測更加的靈活;
2、保護(hù)投資，最貴的是探頭放大器(一個(gè)探頭放大器可以支持多種探測方式，以前需要幾個(gè)探頭來實(shí)現(xiàn));同時(shí)探頭附件保護(hù)探頭放大器(探頭附件即使損壞，價(jià)格也相對便宜);
3、這種設(shè)計(jì)方式容易實(shí)現(xiàn)高帶寬。
圖16 探頭附件
這些探頭附件，主要包括以下幾種：
1、點(diǎn)測探頭附件(包括：單端點(diǎn)測和差分點(diǎn)測);
2、焊接探頭附件(包括：單端焊接和差分焊接，分離式的ZIF焊接);
3、插孔探頭附件;
4、差分SMA探頭附件(示波器一般直接支持SMA連接，但是如果被測信號需要上拉如HDMI，則必須使用SMA探頭附件)。
探頭附件的電路結(jié)構(gòu)如下圖所示：
1、在探頭附件尖端部分會有一對阻尼電阻(一般82ohm)，這對阻尼電阻的作用是消除探頭附件尖端部分的電感的諧振影響;
2、探頭尖端部分的后面是25Kohm的電阻，這個(gè)電阻決定了探頭的輸入阻抗(直流輸入阻抗即電阻：單端25Kohm，差分50Kohm)，這個(gè)電阻使得被測信號傳輸?shù)教筋^放大器部分的功率是非常小的，不至于對被測信號有較大影響。
3、25Kohm的電阻后面是同軸傳輸線部分，這個(gè)傳輸線負(fù)責(zé)把小信號傳輸?shù)椒糯笃?。這個(gè)傳輸線的長度可以很長，也可以很短，中間可以加衰減器，也可以加耦合電容。
4、同軸傳輸線連接到放大器，放大器是50ohm匹配的(差分100ohm匹配)。
圖17 有源探頭附件的結(jié)構(gòu)
有源探頭為了保持探頭的精確度，需要工作在恒溫狀態(tài)，所以探頭放大器不能放置到高低溫箱里進(jìn)行高低溫環(huán)境下被測電路板的測試。從探頭附件結(jié)構(gòu)中可見中間的50ohm傳輸線的長短不影響探測，所以可以用很長的同軸電纜或擴(kuò)展同軸電纜，讓這個(gè)同軸電纜伸進(jìn)高低溫箱里進(jìn)行高低溫?fù)Q進(jìn)下被測電路板的測試。如下圖是N5450A擴(kuò)展電纜，使用N5381A焊接探頭附件，可以工作在-55°到150°溫度范圍。
圖18 高低溫探頭結(jié)構(gòu)原理
使用N5450A擴(kuò)展電纜和N5381A探頭附件，使用1169A 12GHz探頭放大器，在-55°和150°環(huán)境下的頻響曲線如下圖所示，可見能夠滿足高速信號測試的要求。
圖19 高低溫探頭在高低溫下的頻響
五、探頭及附件準(zhǔn)確度驗(yàn)證
下圖是一個(gè)例子：被測信號是一個(gè)頻率456MHz，邊沿時(shí)間約65ps的時(shí)鐘信號，分別使用不同類型的探頭和探頭附件的測試結(jié)果。
A圖是使用12GHz的1169A差分探頭和N5381A 12GHz焊接探頭附件的測試結(jié)果，幾乎完全復(fù)現(xiàn)被測信號;
B圖是使用500MHz的無源探頭的測試結(jié)果，顯示的信號完全失真;
C圖是使用12GHz的1169A差分探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號出現(xiàn)很大的過沖;
D圖是使用4GHz的1158A單端探頭和較長的測試引線的測試結(jié)果，顯示的信號幾乎是正弦波，失真較大。
圖20 不同探頭附件測試結(jié)果對比
從圖中可見探頭和探頭附件對測試精確度的影響是非常大的，是我們測試高速信號應(yīng)該重點(diǎn)注意的內(nèi)容之一。那我們應(yīng)該如何驗(yàn)證探頭和探頭附件呢?
驗(yàn)證探頭和探頭附件需要使用一臺脈沖碼型發(fā)生器(如:81134A，3.35GHz速率，60ps邊沿的脈沖碼型發(fā)生器)，如果示波器自帶高速信號輸出功能，也可以使用示波器的這個(gè)輔助輸出口代替脈沖碼型發(fā)生器(如: Infiniium示波器的AUX OUT端口可以發(fā)一個(gè)高速時(shí)鐘：456MHz頻率，約65ps邊沿)。另外，需要同軸電纜和測試夾具(Infiniium示波器配置的探頭校準(zhǔn)夾具可以作為探頭和探頭附件驗(yàn)證測試夾具)。測試夾具的外表是地(Ground)，里面走線是信號(Signal)，如下圖所示。使用時(shí)，通過同軸電纜把一端接到脈沖碼型發(fā)生器或示波器的輔助輸出AUX OUT端口，另外一端通過適配器連接到示波器的通道1上。
圖21 探頭驗(yàn)證夾具
然后把被驗(yàn)證的探頭連接到通道2上，探頭通過探頭附件可以接觸到測試夾具的信號和地(如果是差分探頭，那么把+端連接到測試夾具的信號線，把-端連接到測試夾具的地上)。
1、如果探頭不接觸信號線，則屏幕上會出現(xiàn)一個(gè)原始波形，存為參考波形;
2、當(dāng)用探頭探測信號線時(shí)，通道1的波形會發(fā)生變化，這個(gè)變化后的波形就是被探頭和探頭附件影響后的被測信號;
3、這時(shí)，連接探頭的通道2會出現(xiàn)一個(gè)波形，這個(gè)波形是探頭測試到的波形;
4、通過對比參考波形，通道1的波形，和連接探頭的通道2的波形，就可以直觀的看出或通過測試參數(shù)讀出三者的差別，可以驗(yàn)證探頭和探頭附件的影響。
圖22 探頭驗(yàn)證連接和原理
下圖是實(shí)際驗(yàn)證的一個(gè)例子，圖A把示波器的AUX OUT通過同軸電纜連接到測試夾具，測試夾具的另一端通過SMA-PBNC適配器連接到示波器的一個(gè)通道上(此例連接到通道3)，把探頭連接到通道1上，此時(shí)調(diào)整屏幕上的波形，使得出現(xiàn)一個(gè)邊沿階躍波形，如圖C所示，并把此波形存為參考波形。如圖B把被驗(yàn)證探頭和附件點(diǎn)測到測試夾具上，如圖D所示，屏幕上出現(xiàn)3個(gè)波形，蘭色的是參考波形，綠色的是受探頭影響后的被測波形，黃色的是探頭顯示的波形，通過測試上升時(shí)間參數(shù)，過沖參數(shù)等，可確認(rèn)探頭和探頭附件的性能。
圖23 探頭驗(yàn)證實(shí)例
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