電子產(chǎn)品設(shè)計中的“明星”——MEMS傳感器
雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷帶活了MEMS市場的應(yīng)用?？梢院敛豢鋸埖恼f：“這是一場聲勢浩大的市場拉動MEMS應(yīng)用的革命”。MEMS當(dāng)之無愧成為電子產(chǎn)品設(shè)計中的“明星”。本次半月談將帶給您有關(guān)MEMS傳感器的應(yīng)用，MEMS傳感器的設(shè)計，商機(jī)及趨勢等內(nèi)容。期待您的關(guān)注。
無論Nokia N95/N96、黑莓手機(jī)、三星的Omnia還是宏達(dá)的Diamond——當(dāng)然還有蘋果的iPhone，在如今幾乎所有熱銷的智能手機(jī)中，MEMS技術(shù)都扮演著非常重要的角色。MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）就是在一個硅基板上集成了機(jī)械和電子元器件的微小機(jī)構(gòu)。在代工廠中，通過對電子部分使用半導(dǎo)體工藝和對機(jī)械部分使用微機(jī)械工藝將其或者直接蝕刻到一片晶圓中，或者增加新的結(jié)構(gòu)層來制作MEMS產(chǎn)品。作為納米科技的一個分支，MEMS被稱為電子產(chǎn)品設(shè)計中的“明星”。
應(yīng)用篇
微機(jī)電運動傳感器（MEMS Motion Sensor）技術(shù)主要應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域，但是憑借Wii和iPhone的熱賣，該技術(shù)一舉在消費電子市場也闖出了一片天地。MEMS運動傳感器囊括多種傳感器技術(shù)。用來測量物體加速度的傳感器叫做加速度傳感器（加速度計）；用來測量物體角速度的傳感器叫做角速度傳感器（陀螺儀）；也有將二者相結(jié)合的慣性測量單元（IMU；Inertial Measurement Unit）。另外，還有測量高度變化的氣壓計，以及感測絕對方向的電子羅盤。點擊《微機(jī)電運動傳感器應(yīng)用領(lǐng)域》了解詳情。
設(shè)計篇
先前絕大部分的電子產(chǎn)品依靠石英晶體來提供可靠穩(wěn)定的頻率信號，不過近幾年由于MEMS技術(shù)設(shè)計制造的電子零件，在許多應(yīng)用領(lǐng)域不斷提供電子產(chǎn)品創(chuàng)新且質(zhì)優(yōu)的設(shè)計，其中包括MEMS諧振器零件在許多應(yīng)用開始取代石英晶體：例如所謂MEMS振蕩器內(nèi)部所采用的諧振器，即是使用毫米級大小的MEMS諧振器，作為Mega Hertz級別的振蕩源。除了創(chuàng)新諧振器的MEMS技術(shù)，振蕩器內(nèi)部的振蕩電路設(shè)計亦開始進(jìn)行中。MEMS技術(shù)設(shè)計脫穎而出《MEMS振蕩器技術(shù)設(shè)計思路》。
商機(jī)篇
據(jù)德國慕尼黑的一家市場資訊公司W(wǎng)icht Technologie Consulting (WTC)的分析家們預(yù)計，用于航天、國防和國土安全的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的市場份額將從2005年的1億美元翻番，達(dá)到2009年的2.65億美元。WTC的專家們指出，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)用于國防的潛在機(jī)會包括航空動力、機(jī)動性、隱身、傳感、發(fā)電和管理、智能結(jié)構(gòu)和材料。更多商機(jī)請看《國防和航天MEMS市場2009年將達(dá)到2.65億美元》。
趨勢篇
雖然MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域已有二十年左右，但卻是任天堂Wii和蘋果iPhone的熱銷使人們更廣泛地了解慣性傳感器的用途，這些產(chǎn)品使用了基于運動感測技術(shù)的用戶界面。盡管如此，在一定程度上業(yè)界的觀念仍停留在慣性傳感器主要是用于終端產(chǎn)品檢測加速度和減速度的應(yīng)用。從純粹的科學(xué)角度來看，這種說法完全正確，但這樣的觀點卻忽略了許多MEMS加速計和陀螺儀的擴(kuò)展應(yīng)用，包括在醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)設(shè)備、消費電子產(chǎn)品和汽車電子等領(lǐng)域。《利用MEMS慣性感測技術(shù)實現(xiàn)應(yīng)用變革》將告訴您未來的技術(shù)變革是什么？
